अति-उच्च शुद्धता वाला एक इंच का हल्का गैस वाल्व, अर्धचालक फैब और विश्लेषणात्मक प्रयोगशालाओं के लिए, इलेक्ट्रोपॉलिश सतहों और कण निगरानी के साथ

प्रदूषण-संवेदनशील वातावरण के लिए सटीक इंजीनियरिंग, इस कण नियंत्रितएक इंच हल्का गैस वाल्वमहत्वपूर्ण गैस वितरण प्रणालियों में अखंडता सुनिश्चित करता है। <0.5 Ra μm इलेक्ट्रोपोलिश्ड फिनिश के साथ 316L-VAR स्टेनलेस स्टील की विशेषता, यहउच्च शुद्धता वाले गैस वाल्वअर्धचालक प्रक्रिया गैसों के लिए कक्षा 1/आईएसओ 2 कण मानकों को प्राप्त करता है। स्व-संरेखण शंकु सील डिजाइन धातु से धातु संपर्क को समाप्त करता है, 100 के दौरान कणों के उत्पादन को रोकता है,000+ क्रियाएँ. एक आवश्यक के रूप मेंप्रयोगशाला गैस वाल्व, इसमें हेलियम-लीक-टाइट अखंडता के लिए वीसीआर-शैली के चेहरे की सील शामिल है, जो 1x10−9 एटीएम-सीसी/सेक He तक है, जो आर्सीन और सिलान जैसी विशेष गैसों के लिए पीपीबी-स्तर की शुद्धता बनाए रखता है।पीटीएफई स्टैम सील और शून्य मृत-पैर विन्यास SEMI F72 मानकों को पूरा करते हैं. स्थापना के दौरान स्थान पर आईएसओ 14644-1 वर्ग 3 अनुपालन सत्यापन के लिए एकीकृत कण निगरानी बंदरगाह शामिल है.

बुलेट पॉइंट्स:
✓नैनोस्केल स्वच्छता: <5 कण >0.1μm प्रति लीटर (प्रति IEST RP CC001.6)
✓बुलबुला सील: 1x10−9 एटीएम-सीसी/सेकेंड हीलियम रिसाव दर
✓जंग प्रतिरोध: एएसटीएम ए967 नाइट्रिक एसिड विधि के अनुसार निष्क्रिय
✓कंपन मुक्त संचालन: प्रतिध्वनित तना डिजाइन
✓फैब-प्रूफ: SEMI F72 के अनुरूपप्रयोगशाला गैस वाल्व

अनुप्रयोग परिदृश्यः
एक अर्धचालक स्वच्छ कक्ष में, तकनीशियन 5 एनएम चिप निर्माण गैस लाइन कमीशन के दौरान शून्य संदूषण की पुष्टि करने के लिए कणों की गिनती का उपयोग करके वाल्व स्थापित करते हैं।

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न:

प्रश्न: इस उच्च शुद्धता वाले गैस वाल्व के साथ कौन सा कण प्रमाणन आता है?
A: IEST-CC0016 कक्षा 1 0.1-5.0μm कण वितरण डेटा के साथ रिपोर्ट करता है।

प्रश्न: क्या आपकेप्रयोगशाला गैस वाल्वविषाक्त डोपेंट्स के साथ संगत?
A: हाँ, पूर्ण सामग्री संगतता के साथ SEMI S2 श्रेणी 1 गैसों के लिए डिज़ाइन किया गया है।

प्रश्न: क्या मैं प्रक्रिया में व्यवधान के बिना कणों की निगरानी को एकीकृत कर सकता हूँ?
उत्तर: हाँ, नमूना बंदरगाह ISO 14644-1 के अनुरूप इनसाइट सत्यापन की अनुमति देते हैं।

प्रश्न: आउटगैसिंग प्रदर्शन क्या है?
A: <1x10−9 g/cm2/sec TML/CVCM प्रति NASA-STD-6001B।

प्रश्न: क्या आप स्थापना प्रदूषण नियंत्रण प्रोटोकॉल प्रदान करते हैं?
A: ISO 14644-5 के अनुरूप विस्तृत स्थापना किट उपलब्ध हैं।